Lan RESEARCH หนึ่งในบริษัทที่ทรงอิทธิพลสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ พัฒนาหุ่นยนต์ Dextro ซึ่งเป็นหุ่นยนต์ Cobot ตัวแรกที่ถูกออกแบบมาสำหรับงานซ่อมบำรุง Fab ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะ
เพราะความแม่นยำเป็นทุกสิ่งสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในช่วงเวลาที่ความต้องการด้าน AI ทวีคูณขึ้นอย่างในปัจจุบัน ความผิดพลาดจากการซ่อมบำรุงเพียงเล็กน้อยก็สามารถทำให้เกิดความสูญเสียของ Yield ที่มีนัยสำคัญและเกิด Downtime ที่มีต้นทุนสูงได้ ความท้าทายเหล่านี้นับวันจะยิ่งเพิ่มมากขึ้นอย่างต่อเนื่องตามบริบทของความต้องการด้านการประมวลผลที่สูงขึ้น ความผิดพลาดเล็กน้อยจึงสามารถขยายผลลัพธ์ของความเสียหายได้มหาศาล
Lam RESEARCH หนึ่งในผู้เชี่ยวชาญชั้นนำในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ จึงได้พัฒนาโซลูชันสำหรับงานซ่อมบำรุง Fab เซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะขึ้นมาโดยใช้พื้นฐานจากหุ่นยนต์ Cobot ซึ่งมีจุดเด่นที่สามารถใช้งานได้ง่าย น้ำหนักเบา มีความแม่นยำสูง และหลายรุ่นในปัจจุบันได้ถูกออกแบบมาให้ใช้งานกับห้องปลอดฝุ่นได้อีกด้วย
Dextro ถูกพัฒนาขึ้นมาเพื่อยกระดับงานซ่อมบำรุงโรงงานเซมิคอนดักเตอร์หรือ Fab ซึ่งถูกเปิดตัวในเดือนพฤษจิกายน 2024 ที่รองรับงานได้ 3 รูปแบบ ได้แก่ การติดตั้งแพลทด้านบน, การเปลี่ยนชิ้นส่วนหรืออุปกรณ์สิ้นเปลือง และการทำความสะอาด Chamber ที่ใช้ในการผลิต ในวันนี้ Dextro สามารถทำงานได้มากกว่า 34 แบบใน 6 กลุ่มผลิตภัณฑ์ ไม่ว่าจะเป็นการทำความสะอาดขอบและผิวหน้าของ ESC (Electrostatic Chuck), การทำความสะอาด Chamber ที่เปลี่ยนมุมได้ซับซ้อนยิ่งขึ้น, การทำความสะอาดช่องใส่ Wafer, การติดตั้ง Edge Rings, การติดตั้ง E-Seal และการตรวจสอบความเรียบร้อย, การประกอบ Electroplating Cup ขึ้นใหม่, ติดตั้งชิ้นส่วน และการติดตั้งตัวยึด (Fastener) ตลอดจนการสอบเทียบ (Calibration) ก็สามารถทำได้เช่นกัน
การเข้ามาของ Dextro สามารถลดเวลาและความเสี่ยงที่อาจเกิดจากการทำงานของมนุษย์ในกระบวนการเหล่านี้ได้ด้วยความแม่นยำระดับ 99.99% ในการทำงานครั้งแรก และสามารถลดความผันแปร (Variability) เมื่อนำมาใช้ในการซ่อมบำรุงตามกำหนดการณ์ประจำได้ถึง 2 เท่าเมื่อเปรียบเทียบกับการทำงานแบบดั้งเดิม การเข้ามาเสริมในงานส่วนซ่อมบำรุงนั้นเปิดโอกาสให้เหล่าวิศวกรมากความสามารถไปทำงานที่มีคุณค่ายิ่งกว่าเดิมได้
การมาถึงของ Dextro ไม่ได้สร้างการเปลี่ยนแปลงเฉพาะอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เท่านั้น แต่ยังเป็นจุดเริ่มต้นของนิยาม Autonomous Maintenance ยุคใหม่ได้อย่างชัดเจน จากความเชื่อดั้งเดิมที่เคยรับรู้กันว่าเทคโนโลยีใหม่สนับสนุนด้านข้อมูล ช่วยวิเคราะห์ต่างๆ แต่ในวันนี้กลับมาถึงยุคที่ระบบอัตโนมัติมีส่วนในการซ่อมบำรุงโรงงานในเชิงกายภาพได้จริง และจะเพิ่มความสามารถเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องได้อีกด้วย
ที่มา:
Lam Research
