Taiwan Excellence-Manufacturing Expo 2025
Thai Murata
cleanroom iso 14644 thailand semiconductor advanced packaging

Cleanroom กับมาตรฐาน ISO 14644 หัวใจสำคัญของ Advanced Packaging และเซมิคอนดักเตอร์ไทย

Date Post
03.06.2025
Post Views

ความต้องการผลิตภัณฑ์ที่มีความละเอียดสูงและปราศจากข้อบกพร่องเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง Advanced Packaging จึงกลายเป็นกระบวนการสำคัญที่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและลดขนาดของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ อย่างไรก็ตาม การดำเนินการในกระบวนการนี้จำเป็นต้องมีสภาพแวดล้อมที่ควบคุมอย่างเข้มงวด เพื่อป้องกันการปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ Cleanroom หรือห้องสะอาดจึงเป็นองค์ประกอบสำคัญที่ไม่สามารถมองข้ามได้

ในประเทศไทย การพัฒนาและรักษามาตรฐาน Cleanroom ให้สอดคล้องกับมาตรฐานสากล เช่น ISO 14644 เป็นสิ่งที่ท้าทาย แต่จำเป็นสำหรับการยกระดับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ Advanced Packaging ให้สามารถแข่งขันในตลาดโลกได้

ความสำคัญของ Cleanroom ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ Advanced Packaging

Cleanroom เป็นพื้นที่ที่มีการควบคุมปริมาณอนุภาคในอากาศอย่างเข้มงวด เพื่อป้องกันการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้นในกระบวนการผลิต โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ Advanced Packaging ซึ่งความละเอียดของชิ้นงานอยู่ในระดับไมครอนหรือแม้กระทั่งนาโนเมตร อนุภาคขนาดเล็กเพียงไม่กี่ไมครอนสามารถส่งผลต่อคุณภาพและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีนัยสำคัญ

มาตรฐาน ISO 14644 เป็นมาตรฐานสากลที่ใช้ในการกำหนดระดับความสะอาดของ Cleanroom โดยแบ่งออกเป็นหลายระดับ (Class) ตามจำนวนอนุภาคที่อนุญาตให้มีอยู่ในอากาศต่อปริมาตรหนึ่งลูกบาศก์เมตร ตัวอย่างเช่น ISO Class 5 อนุญาตให้มีอนุภาคขนาด 0.5 ไมครอน ไม่เกิน 3,520 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งเหมาะสำหรับกระบวนการที่ต้องการความสะอาดสูง เช่น การประกอบชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์

ประเภทของ Cleanroom ตามระดับความสะอาด (Class) ที่ควรรู้

มาตรฐาน Cleanroom เดิมนิยมใช้หน่วยวัดเป็น “Class” ตามจำนวนอนุภาคในอากาศต่อ 1 ลูกบาศก์ฟุต (ตามมาตรฐาน FED-STD-209E ซึ่งแม้จะเลิกใช้ไปแล้ว แต่ยังคงถูกอ้างอิงในทางอุตสาหกรรมเพื่อความเข้าใจง่าย) โดยแบ่งได้เป็นหลายระดับ ดังนี้:

Classการใช้งานหลัก
Class 1ใช้เฉพาะในกระบวนการผลิตวงจรรวม (IC) ที่ต้องการความแม่นยำสูงมาก เช่น โครงสร้างระดับ sub-micron และงานวิจัยระดับนาโน
Class 10เหมาะสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการผลิตวงจรที่มีความละเอียดต่ำกว่า 2 ไมครอน เช่น logic chip ระดับสูง
Class 100ใช้ในกระบวนการที่ต้องปลอดเชื้อ เช่น การผลิตยาฉีดปลอดเชื้อ การผ่าตัดปลูกถ่ายอวัยวะ หรือการแยกผู้ป่วยภูมิคุ้มกันต่ำ
Class 1,000ใช้ผลิตอุปกรณ์แสงระดับสูง เช่น เลนส์ความละเอียดสูง ไจโรสโคปที่ต้องการความแม่นยำสูง
Class 10,000ใช้ในอุตสาหกรรมกลไกแม่นยำ เช่น ชิ้นส่วนไฮดรอลิก นิวแมติก วาล์วควบคุมเซอร์โว และเกียร์คุณภาพสูง
Class 100,000ใช้ในงานประกอบทั่วไป เช่น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ งานระบบกลไกพื้นฐาน หรืองานประกอบในอุตสาหกรรมยานยนต์

องค์ประกอบสำคัญของ Cleanroom ที่ได้มาตรฐาน

ระบบการกรองอากาศ (Air Filtration System)

หนึ่งในหัวใจหลักของการสร้าง Cleanroom ที่มีประสิทธิภาพคือระบบการกรองอากาศ ซึ่งต้องสามารถดักจับและกรองอนุภาคได้อย่างละเอียด การเลือกใช้แผ่นกรอง HEPA (High-Efficiency Particulate Air) หรือ ULPA (Ultra-Low Penetration Air) จึงเป็นมาตรฐานที่จำเป็น HEPA สามารถกรองอนุภาคขนาด 0.3 ไมครอนได้ถึง 99.97% ในขณะที่ ULPA มีความสามารถมากกว่า โดยสามารถกรองอนุภาคขนาด 0.12 ไมครอนได้ถึง 99.999% ความสามารถในการกรองเช่นนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าอากาศที่หมุนเวียนภายใน Cleanroom จะปราศจากสิ่งเจือปนที่อาจสร้างความเสียหายให้กับผลิตภัณฑ์หรือกระบวนการผลิต

ระบบกรองเหล่านี้ไม่สามารถใช้งานได้โดยลำพัง แต่ต้องติดตั้งร่วมกับระบบ Air Handling Unit (AHU) ที่มีความสามารถในการรักษาแรงลมและปริมาณอากาศให้สม่ำเสมอ พร้อมรองรับอัตราการเปลี่ยนถ่ายอากาศตามมาตรฐาน ISO ซึ่งจะช่วยรักษาความสะอาดของพื้นที่อย่างต่อเนื่องโดยไม่ลดทอนประสิทธิภาพในระยะยาว

การควบคุมอุณหภูมิและความชื้น (Temperature and Humidity Control)

อุณหภูมิและความชื้นเป็นปัจจัยแวดล้อมที่มีผลต่อทั้งคุณภาพของผลิตภัณฑ์และสภาวะของอนุภาคในอากาศ หากอุณหภูมิสูงเกินไปอาจทำให้เกิดการขยายตัวของวัสดุ ขณะที่ความชื้นต่ำเกินไปจะนำไปสู่การเกิดไฟฟ้าสถิต ซึ่งเป็นสาเหตุให้เกิดความเสียหายต่อวงจรภายในชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ มาตรฐาน ISO แนะนำให้อุณหภูมิอยู่ในช่วง 20–25°C และควบคุมความชื้นให้อยู่ระหว่าง 40–60% RH

ระบบ HVAC (Heating, Ventilation and Air Conditioning) จึงต้องสามารถรักษาค่าที่กำหนดนี้ได้อย่างแม่นยำและต่อเนื่อง โดยเฉพาะในโรงงานที่ตั้งอยู่ในสภาพอากาศแบบเมืองร้อนชื้นของไทย จำเป็นต้องมีระบบ Dehumidifier เสริมควบคุมความชื้น เพื่อป้องกันไม่ให้ค่าความชื้นสัมพัทธ์เกินขีดจำกัดในฤดูฝน

การควบคุมความดันและการไหลของอากาศ (Pressure and Airflow Control)

การออกแบบระบบความดันภายใน Cleanroom ต้องมีการควบคุมให้สอดคล้องกับลำดับความสะอาดของแต่ละโซน โดย Cleanroom ควรอยู่ในสภาพความดันบวก (Positive Pressure) เมื่อเทียบกับพื้นที่ภายนอก เพื่อป้องกันไม่ให้อากาศที่อาจมีสิ่งปนเปื้อนรั่วไหลเข้ามาในพื้นที่สำคัญ ในกรณีที่มีหลายห้องที่ต้องการระดับความสะอาดต่างกัน เช่น ห้องเก็บ wafer กับห้องประกอบ die ควรมีการจัดลำดับ pressure cascade จากสะอาดมากไปสะอาดน้อย

นอกจากนี้รูปแบบของการไหลของอากาศก็มีบทบาทสำคัญ โดยเฉพาะการใช้ Laminar Flow ที่อากาศจะเคลื่อนที่ลงมาตรง ๆ จากเพดานสู่พื้นอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยผลักอนุภาคลงล่างและออกจากพื้นที่ได้รวดเร็ว ไม่หมุนวนกลับเข้าสู่กระบวนการผลิต อัตราการไหลต้องสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO เช่น ISO Class 5 ควรมีอัตราการไหลของอากาศประมาณ 0.45 m/s ±20%

วัสดุและการออกแบบภายใน (Materials and Interior Design)

วัสดุที่ใช้ในการก่อสร้างและตกแต่งภายใน Cleanroom ต้องมีคุณสมบัติในการลดการก่อให้เกิดฝุ่น ไม่ดูดซับความชื้น และทำความสะอาดได้ง่าย โดยพื้นควรใช้วัสดุประเภท Epoxy Self-Leveling ซึ่งมีผิวเรียบ ไม่มีรอยต่อ และสามารถทนสารเคมีได้ดี ผนังและเพดานควรใช้แผ่นเมทัลชีทเคลือบสีโพลีเอสเตอร์ หรือวัสดุเคลือบพิเศษที่ไม่ปล่อยสารระเหยหรืออนุภาค

นอกจากวัสดุแล้ว การออกแบบยังต้องลด dead zone หรือพื้นที่ที่อากาศไม่สามารถไหลผ่านได้ เช่น มุมฉากหรือมุมที่เข้าถึงได้ยาก จึงนิยมออกแบบมุมให้เป็นมุมโค้ง (coving) รวมถึงติดตั้งเฟอร์นิเจอร์แบบ Built-in ที่มีผิวเรียบและไม่เป็นรูพรุน ลดโอกาสในการสะสมฝุ่น

การออกแบบระบบแสงสว่างควรใช้โคมไฟแบบฝังในฝ้าเพดาน เพื่อป้องกันการปล่อยอนุภาคจากระบบไฟลงสู่พื้น และต้องคำนึงถึงค่าความสว่างเฉลี่ยประมาณ 500 ลักซ์ ซึ่งเพียงพอต่อการปฏิบัติงานละเอียดในสายการผลิตชิ้นส่วนไมโครอิเล็กทรอนิกส์

การปฏิบัติงานภายใน Cleanroom

การรักษาความสะอาดของ Cleanroom ไม่ได้ขึ้นอยู่กับการออกแบบและระบบเครื่องกลเพียงอย่างเดียว แต่ขึ้นอยู่กับ “วินัยของคน” และกระบวนการที่เข้มงวดในการควบคุมพฤติกรรมภายในพื้นที่ที่ควบคุมสิ่งแวดล้อมอย่างละเอียด บุคลากรที่ทำงานใน Cleanroom คือปัจจัยที่สำคัญที่สุดในการรักษาระดับความสะอาดให้คงที่ต่อเนื่อง หากไม่มีมาตรการและระบบควบคุมที่ดี การปนเปื้อนจากเส้นผม ผิวหนัง ลมหายใจ หรือพฤติกรรมการเคลื่อนไหวที่ไม่เหมาะสม จะกลายเป็นสาเหตุของความเสียหายต่อกระบวนการผลิตได้ในทันที

การแต่งกาย (Gowning)

ก่อนเข้า Cleanroom พนักงานต้องผ่านขั้นตอนการแต่งกายอย่างเข้มงวด ตั้งแต่การล้างมือ การสวมชุดคลุมที่มีคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิต (ESD-safe garments) การสวมหน้ากาก หมวกคลุมผม ถุงมือ และรองเท้าแบบพิเศษ ทุกขั้นตอนต้องเป็นไปตามลำดับเพื่อไม่ให้เกิดการสัมผัสย้อนกลับหรือปนเปื้อนจากภายนอก การใช้ห้อง Gowning ที่แบ่งเป็นโซนตามลำดับความสะอาด เช่น Pre-Gowning, Air Shower, และ Clean Side เป็นแนวทางมาตรฐานที่ใช้อย่างแพร่หลายในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ชั้นนำในประเทศไทย (thaitakasago.co.th)

การเข้า-ออก (Entry and Exit Procedures) 

ทุกครั้งที่บุคลากรเข้า-ออกจาก Cleanroom ต้องปฏิบัติตามกระบวนการควบคุมอย่างเข้มงวด เช่น ใช้ Air Shower เพื่อลดอนุภาคที่ติดตามร่างกาย ใช้ Airlock เพื่อป้องกันแรงดันตก หรือใช้ระบบลานจอดวัสดุ (Material Pass Box) สำหรับการส่งผ่านชิ้นงานโดยไม่เปิดประตูหลัก การเปิดประตูพร้อมกันทั้งสองฝั่งเป็นสิ่งต้องห้ามเด็ดขาดเพราะจะทำให้แรงดันภายในห้องเสียสมดุล

การฝึกอบรมและการควบคุมวินัย (Training & Compliance)

พนักงานที่ปฏิบัติงานใน Cleanroom ต้องผ่านการอบรมตั้งแต่พื้นฐานของ Cleanroom Behavior, มาตรฐาน ISO 14644, จนถึงกระบวนการผลิตเฉพาะของแต่ละโรงงาน เช่น การจับจับ wafer หรือ die อย่างปลอดภัย หลายโรงงานในไทยยังขาดระบบประเมินผลและทบทวนความรู้ด้านนี้อย่างต่อเนื่อง ส่งผลให้เกิดความประมาทในการใช้งานห้องสะอาด

การมีระบบ audit ภายใน เช่น Cleanroom Behavior Audit หรือการใช้กล้องวงจรปิดเพื่อตรวจสอบความถูกต้องของพฤติกรรมในห้องสะอาด เป็นแนวทางที่ควรนำมาปรับใช้เพื่อรักษามาตรฐานความสะอาดให้สม่ำเสมอทุกกะ ทุกคน

ความท้าทายและแนวทางการพัฒนา Cleanroom ในประเทศไทย

ในประเทศไทย Cleanroom เริ่มเป็นที่รู้จักในวงกว้างมากขึ้นโดยเฉพาะในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ยา และอาหาร แต่การประยุกต์ใช้ Cleanroom ระดับสูงที่ต้องรองรับการผลิตระดับไมครอนในเซมิคอนดักเตอร์และ Advanced Packaging ยังเป็นสิ่งที่พบได้น้อย โรงงานส่วนใหญ่ยังขาดทั้งโครงสร้างพื้นฐานและองค์ความรู้ที่จำเป็นในการออกแบบ บริหาร และตรวจสอบ Cleanroom ตามมาตรฐาน ISO 14644 อย่างครบวงจร

การลงทุนเริ่มต้นสูง

หนึ่งในอุปสรรคสำคัญคือค่าใช้จ่ายเริ่มต้นในการก่อสร้าง Cleanroom ที่ได้มาตรฐาน โดยเฉพาะในพื้นที่ที่ต้องการ ISO Class 5 ขึ้นไป ระบบกรองอากาศที่มีคุณภาพ ระบบควบคุมแรงดัน อุณหภูมิ ความชื้น และระบบควบคุมทางเข้าออกต้องใช้เทคโนโลยีระดับสูงที่มีต้นทุนมาก โรงงาน SME หรือผู้ผลิตรายย่อยจำนวนมากจึงมักเลือกใช้ Cleanroom แบบกึ่งสำเร็จรูปที่ไม่สามารถควบคุมสิ่งแวดล้อมได้เต็มประสิทธิภาพ ส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ในระยะยาว

การขาดความรู้และผู้เชี่ยวชาญ

อีกปัญหาสำคัญคือการขาดแคลนบุคลากรที่มีความรู้ด้านการออกแบบและบริหาร Cleanroom ในบริบทของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ วิศวกรที่จบสายไฟฟ้า เครื่องกล หรือเคมี ส่วนใหญ่มักไม่ได้รับการฝึกอบรมเกี่ยวกับมาตรฐาน ISO 14644 หรือการตรวจวัดคุณภาพอากาศใน Cleanroom อย่างลึกซึ้ง การขาดทีมบริหาร Cleanroom ที่เข้าใจระบบ HVAC, zoning และ behavior control จึงเป็นจุดอ่อนสำคัญที่ทำให้ Cleanroom ในไทยไม่เสถียรในระยะยาว

การใช้มาตรฐานล้าสมัย

โรงงานบางแห่งยังคงอ้างอิงมาตรฐานเก่าอย่าง FED-STD-209E ที่ถูกยกเลิกไปตั้งแต่ปี 2001 และไม่ได้อัปเดตระบบให้ตรงตาม ISO 14644 ฉบับใหม่ ซึ่งเน้นการตรวจสอบคุณภาพอากาศในรูปแบบ Dynamic (ขณะใช้งาน) มากกว่าการวัดในสภาวะ Static (ตอนที่ห้องว่าง) เหมือนในอดีต ซึ่งการเข้าใจและปรับตามมาตรฐานล่าสุดนี้มีผลต่อการผ่าน audit จากลูกค้าในต่างประเทศโดยตรง

แนวทางการพัฒนา

การพัฒนา Cleanroom ในไทยควรเริ่มต้นจากการส่งเสริมการอบรมบุคลากรในสายวิศวกรรม ให้เข้าใจมาตรฐาน ISO 14644 และแนวทางการออกแบบ Cleanroom ที่เหมาะสมกับประเภทอุตสาหกรรมของตน นอกจากนี้ ภาครัฐควรมีนโยบายสนับสนุนด้านภาษีหรือเงินกู้ดอกเบี้ยต่ำสำหรับการลงทุน Cleanroom โดยเฉพาะในกลุ่มอุตสาหกรรมเป้าหมายของประเทศ เช่น อิเล็กทรอนิกส์อัจฉริยะหรือหุ่นยนต์อุตสาหกรรม

ภาคเอกชนควรสร้างพันธมิตรกับผู้ให้บริการออกแบบและก่อสร้าง Cleanroom ที่เข้าใจสภาพภูมิอากาศไทย เช่น บริษัทผู้เชี่ยวชาญในไทยอย่าง Thai Takasago Co., Ltd. ที่มีประสบการณ์ในการสร้าง Cleanroom ที่ผ่านการ audit จากลูกค้าระดับสากล Thai Takasago Co., Ltd.

Cleanroom คือหัวใจสำคัญของการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์และ Advanced Packaging ที่มีความละเอียดสูง การออกแบบและบริหาร Cleanroom ไม่ใช่แค่เรื่องเทคโนโลยี แต่คือระบบรวมของวิศวกรรม พฤติกรรม และการควบคุมคุณภาพที่ต้องบูรณาการอย่างรอบด้าน ประเทศไทยสามารถยกระดับตัวเองในห่วงโซ่อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์โลกได้ หากสามารถยกระดับมาตรฐาน Cleanroom ให้สอดคล้องกับ ISO 14644 และสร้างความรู้ ความเข้าใจให้ครอบคลุมทั้งในระดับวิศวกรและผู้บริหาร การลงทุนใน Cleanroom คือการลงทุนในอนาคตของอุตสาหกรรมที่กำลังจะเป็นรากฐานใหม่ของเศรษฐกิจไทย


แหล่งอ้างอิง 


บทความที่น่าสนใจ

Logo-Company
Logo-Company
Logo-Company
logo-company
Pisit Poocharoen
Former field engineer seeking to break free from traditional learning frameworks. อดีตวิศวกรภาคสนามที่ต้องการหลุดออกจากกรอบการเรียนรู้แบบเดิม ๆ
Logistics Automation Expo 2025